Inhaltszusammenfassung:
In der vorliegenden Arbeit wurde durch die Reduktion der Stützpunkteanzahl und den Einsatz voneinander unabhängiger Lichtquellen ein kompaktes Sensorsystem zur zeitaufgelösten Bestimmung der optischen Schichtdicke mittels Reflektometrischer Interferenzspektroskopie (RIfS) erfolgreich entwickelt, optimiert und eingesetzt. Daneben konnte durch die Detektion der Reflexionsspektren unter Totalreflexion die reflektierte Lichtintensität optimiert werden. Die Leistungsfähigkeit der entwickelten Systeme wurde anhand von Kalibrierungen in flüssiger und gasförmiger Phase gezeigt.